金融界2025年2月12日消息，国家知识产权局信息显示，杭州欣俊哲微电子有限公司申请一项名为“ 参数可调的空心导光管及光刻系统”的专利，公开号 CN 119395951 A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种参数可...
金融界2025年2月12日消息，国家知识产权局信息显示，杭州欣俊哲微电子有限公司申请一项名为“ 参数可调的空心导光管及光刻系统”的专利，公开号 CN 119395951 A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种参数可调的空心导光管及光刻系统，参数可调的空心导光管，包括壳体、固定镜组、活动镜组及调节机构，固定镜组包括沿上下方向间隔设置在壳体的第一反(fǎn)射镜和第二反(fǎn)射镜；活动镜组包括沿左右方向间隔设置在壳体的第三反(fǎn)射镜和第四反(fǎn)射镜，第一反(fǎn)射镜、第二反(fǎn)射镜、第三反(fǎn)射镜和第四反(fǎn)射镜围闭形成导光腔；调节机构设于第三反(fǎn)射镜与壳体之间和/或设于第四反(fǎn)射镜与壳体之间，通过调节机构能够调整第三反(fǎn)射镜和第四反(fǎn)射镜之间的距离及夹角，调节机构能够调整第三反(fǎn)射镜和第四反(fǎn)射镜之间的距离及夹角，从而调整空心导光管的尺寸参数和出光特性，满足曝光系统的参数调整要求。
天眼查资料显示，杭州欣俊哲微电子有限公司，成立于2024年，位于杭州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注(zhù)册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州欣俊哲微电子有限公司参与招投标项目1次，专利信息2条。
来源：金融界
版权声明
本文仅代表作者观点，不代表百度立场。
本文系作者授权百度百家发表，未经许可，不得转载。
